La planarisation mécano-chimique (en anglais, Chemical mechanical planarization ou CMP) est un processus de lissage des surfaces utilisant l`action combinée de forces mécaniques et chimiques. Trouvé sur https://fr.wikipedia.org/wiki/Planarisation_mécano-chimique
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La planarisation mécano-chimique (en anglais, Chemical mechanical planarization ou CMP) est un processus de lissage des surfaces utilisant l`action combinée de forces mécaniques et chimiques.